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主动消磁系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度

发布时间: 2021-01-11  点击次数: 29次
  现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。主动消磁系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。
  主动消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成,并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。
  系统针对外部磁场变化为自动响应,响应时间小于100微秒。AC线路场(50/60 Hz)减 少50 x。
  主动消磁系统无法消除电梯、火车和交通等直流电场 变化干扰源。
  主动消磁系统特点:
  1、当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移,从而导致设备分辨率和测量精度的减低。
  2、主动消磁系统由磁场控制单元、一两个交流或直流磁场传感器以及装在待消磁房间里的三根多芯电缆(三维空间线圈)组成,是一种三维的交直流磁场补偿系统。
  3、传感器测量空间环境中交直流磁场及其变化量,磁场控制单元以实时负反馈环路控制方式调节三个线圈中的电流来创建一个与环境磁场变化相反的磁场信号,抵消环境磁场给电子束设备带来的影响,恢复设备应有的分辨率和精度。
  4、这是一个动态系统,对磁场跃变自动响应的速度在100微秒以内。
  5、市电(50/60 Hz)频率的交流背景磁场可被消除至75分之一;直流背景磁场可被消除至200分之一。
  主动消磁系统的线圈由一个完整回路和一段连接控制器的线路组成。完整回路创建一个区域的消除磁场,而另一段连接控制器的线路(此段没有消除磁场的功能)则连接到磁场控制器。完整回路以1个红色,绿色和蓝色代表X、Y、Z轴。线圈的X轴和Y轴完整回路长16米,Z轴回路则为20米长。若客户端有个别需求,可以定制更长的线圈来解决。
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